SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯

SPPL 系列 CMP 漿液過濾聚丙烯折疊濾芯在微電子器件的化學(xué)機(jī)械拋光中,始終為需要拋光的工件提供均勻的拋光漿料，以優(yōu)化晶片的整體平面化，提高晶片質(zhì)量。獨(dú)特的熔噴材料形成等級(jí)分布顆粒物的效果，尤其適合氧化鋁和氧化硅拋光漿料的過濾。

該濾芯材料在空間形成三維微孔結(jié)構(gòu)，微孔孔徑沿濾液方向呈梯度分布，可以截留不同粒徑，孔徑范圍完全匹配 CMP氧化物拋光漿料和金屬物拋光漿料的粒徑，不僅提高了過濾效率，而且解決了濾芯易阻塞的問題，延長(zhǎng)了濾芯的使用壽命。

特征

沿濾液方向的梯度孔徑分布，保證拋光漿料的品質(zhì)，并延長(zhǎng)漿料的使用壽命。

所有濾芯兼容性極佳，無論是酸性還是堿性漿料，均可過濾。

漏斗狀的過濾結(jié)構(gòu)，對(duì)可能造成晶片表面?zhèn)Φ膱F(tuán)狀顆粒敏感。

為CMP流程提供嚴(yán)格的質(zhì)量保證。

去除漿料中的大粒徑離子及成團(tuán)的異質(zhì)顆粒，提高晶片的成品率。

過濾面積大，高過濾效率。

熱熔法密封結(jié)構(gòu)，密封性良好。

輝龍過濾的全面質(zhì)量管理體系保證濾芯品質(zhì)。

濾芯沿濾液方向的梯度孔徑分布結(jié)構(gòu)，適合各種不同的拋光漿料，應(yīng)用范圍廣。

通用性好，適合各種標(biāo)準(zhǔn)或者類似的壓力容器過濾器。